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发明名称 DEVICE FOR DECIDING LAYOUT POSITION
摘要
申请公布号 JPH03211859(A) 申请公布日期 1991.09.17
申请号 JP19900006435 申请日期 1990.01.17
申请人 NEC CORP 发明人 YOSHIMURA TAKESHI
分类号 H01L21/822;G06F17/50;H01L21/82;H01L27/04 主分类号 H01L21/822
代理机构 代理人
主权项
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