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发明名称 MULTILAYER INTERCONNECTION SEMICONDUCTOR INTEGRATED CIRCUIT DEVICE
摘要
申请公布号 JPH03209827(A) 申请公布日期 1991.09.12
申请号 JP19900005490 申请日期 1990.01.12
申请人 NEC CORP 发明人 YAMADA YOSHIYUKI
分类号 H01L21/3205 主分类号 H01L21/3205
代理机构 代理人
主权项
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