发明名称 PHOTO EXCITED DRY ETCHING SYSTEM
摘要
申请公布号 JPH03208340(A) 申请公布日期 1991.09.11
申请号 JP19900004292 申请日期 1990.01.10
申请人 FUJITSU LTD 发明人 OKUNO MASAKI
分类号 H01L21/302 主分类号 H01L21/302
代理机构 代理人
主权项
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