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发明名称 SEMICONDUCTOR DEVICE AND MANUFACTURE THEREOF
摘要
申请公布号 JPH03201482(A) 申请公布日期 1991.09.03
申请号 JP19890340239 申请日期 1989.12.28
申请人 MITSUBISHI ELECTRIC CORP 发明人 OSAKI AKIHIKO
分类号 H01L23/522;H01L21/28;H01L21/768;H01L29/43 主分类号 H01L23/522
代理机构 代理人
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