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发明名称 ELECTRODE FOR SEMICONDUCTOR DEVICE USE AND ITS FORMATION METHOD
摘要
申请公布号 JPH03195027(A) 申请公布日期 1991.08.26
申请号 JP19890337410 申请日期 1989.12.25
申请人 NEC CORP 发明人 HAYAMA NOBUYUKI
分类号 H01L29/73;H01L21/28;H01L21/3205;H01L21/331;H01L21/8222;H01L27/06 主分类号 H01L29/73
代理机构 代理人
主权项
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