| 发明名称 |
VERFAHREN ZUR AUFBRINGUNG VON SCHICHTEN AUF SUBSTRATEN UND VAKUUMBESCHICHTUNGSANLAGE ZUR DURCHFUEHRUNG DES VERFAHRENS. |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
AT65265(T) |
申请公布日期 |
1991.08.15 |
| 申请号 |
AT19880106546T |
申请日期 |
1988.04.23 |
| 申请人 |
BALZERS AKTIENGESELLSCHAFT |
发明人 |
BERGMANN, ERICH, DR. |
| 分类号 |
C23C14/22;C23C14/30;C23C14/35;(IPC1-7):C23C14/22 |
主分类号 |
C23C14/22 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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