| 发明名称 |
INSULATING FILM DEFECT DETECTING METHOD FOR DIELECTRIC SEPARATING SEMICONDUCTOR INTEGRATED CIRCUIT |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH03186758(A) |
申请公布日期 |
1991.08.14 |
| 申请号 |
JP19890327592 |
申请日期 |
1989.12.18 |
| 申请人 |
OKI ELECTRIC IND CO LTD |
发明人 |
UEHARA HIROYASU;SEKIGUCHI MASARU |
| 分类号 |
G01R31/26;G01N27/92;H01L21/66 |
主分类号 |
G01R31/26 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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