发明名称 APPARATUS FOR SUPPLYING MOUNTING PART
摘要
申请公布号 JPH03181141(A) 申请公布日期 1991.08.07
申请号 JP19890321794 申请日期 1989.12.11
申请人 MITSUBISHI ELECTRIC CORP 发明人 AOKI HIDEJI;TANAKA MINORU
分类号 H01L21/50 主分类号 H01L21/50
代理机构 代理人
主权项
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