发明名称 APPARATUS FOR IMPLANTING ION
摘要
申请公布号 JPH03179653(A) 申请公布日期 1991.08.05
申请号 JP19890317979 申请日期 1989.12.07
申请人 MATSUSHITA ELECTRON CORP 发明人 UCHIDA HIROBUMI
分类号 H01J37/20;H01J37/305;H01L21/265 主分类号 H01J37/20
代理机构 代理人
主权项
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