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发明名称 A LIGHT DETECTION METHOD
摘要
申请公布号 EP0416858(A3) 申请公布日期 1991.07.31
申请号 EP19900309642 申请日期 1990.09.04
申请人 MITSUBISHI DENKI KABUSHIKI KAISHA 发明人 TOKUDA, YASUNORI C/O MITSUBISHI DENKI K. K.
分类号 G02F3/02;H01L31/0352;H01L31/105;(IPC1-7):H01L31/105;H01L31/035;G02F1/015;G02F3/00 主分类号 G02F3/02
代理机构 代理人
主权项
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