发明名称 |
A SEALABLE CONTAMINATION-PROOF CONTAINER PACKAGE FOR WAFERS |
摘要 |
|
申请公布号 |
EP0400784(A3) |
申请公布日期 |
1991.07.24 |
申请号 |
EP19900303175 |
申请日期 |
1990.03.26 |
申请人 |
EMPAK INC. |
发明人 |
GERGERSON, BARRY;DRESSEN, LARRY |
分类号 |
B65D85/86;H01L21/673;(IPC1-7):H01L21/00;H05K13/00 |
主分类号 |
B65D85/86 |
代理机构 |
|
代理人 |
|
主权项 |
|
地址 |
|