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发明名称 DEVICE FOR APPLYING COATING FROM GAS PHASE
摘要
申请公布号 SU1347504(A2) 申请公布日期 1991.07.23
申请号 SU19853982561 申请日期 1985.10.28
申请人 INST NEORGANICHESKOJ KHIMII SO AN SSSR 发明人 BYKOV A.F.,SU;GELFOND N.V.,SU;ZEMSKOV S.V.,SU;IGUMENOV I.K.,SU;KIM G.,SU;LARIONOV I.G.,SU;NIKIFOROV A.A.,SU;TSAREV S.M.,SU
分类号 C23C16/455;C23C16/00 主分类号 C23C16/455
代理机构 代理人
主权项
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