发明名称 LIGHT CUTTING INSPECTION METHOD
摘要
申请公布号 JPH03170003(A) 申请公布日期 1991.07.23
申请号 JP19890308312 申请日期 1989.11.28
申请人 FUJITSU AUTOM KK 发明人 ISHIGAKI HIROKATSU;FURUHATA DAISUKE;KAWAHARA TETSUO;SAITO HAJIME
分类号 G01B11/24 主分类号 G01B11/24
代理机构 代理人
主权项
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