发明名称 Piezoelectric actuator
摘要
申请公布号 US5034649(A) 申请公布日期 1991.07.23
申请号 US19900590033 申请日期 1990.09.28
申请人 MITSUBISHI KASEI CORPORATION 发明人 CHIDA, YUKIO;NISHIMURA, TETSUHIKO;OGURI, YASUO
分类号 H01L41/09 主分类号 H01L41/09
代理机构 代理人
主权项
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