| 发明名称 |
SEPARATION OF MICROCRYSTAL SOLID PARTICLES FROM GAS PHASE BY CHEMICAL VAPOR DEPOSITION PROCESS |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH03166375(A) |
申请公布日期 |
1991.07.18 |
| 申请号 |
JP19900215142 |
申请日期 |
1990.08.16 |
| 申请人 |
PHILIPS GLOEILAMPENFAB:NV |
发明人 |
PEETERU KURAUSU BATSUHAMAN;HANSU RIDOCHIN;YAKUESU WARUNIIRU |
| 分类号 |
C23C16/26;C23C16/27;C23C16/44;C23C16/455;C23C16/46 |
主分类号 |
C23C16/26 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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