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发明名称 APPARATUS FOR LIFTING SUBSTRATE FROM SUPER PURE WATER AND DRYING SUBSTRATE
摘要
申请公布号 JPH03165033(A) 申请公布日期 1991.07.17
申请号 JP19890305527 申请日期 1989.11.24
申请人 SEIKO EPSON CORP 发明人 OKAMURA KAZUHIKO
分类号 H01L21/304;H01L27/00 主分类号 H01L21/304
代理机构 代理人
主权项
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