发明名称 MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH03160760(A) 申请公布日期 1991.07.10
申请号 JP19890301020 申请日期 1989.11.20
申请人 FUJITSU LTD 发明人 KAMEI KIYOMASA;MATSUTANI TAKESHI
分类号 H01L29/78 主分类号 H01L29/78
代理机构 代理人
主权项
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