| 摘要 |
Les techniques de mesure de faisceaux d'électrons de l'art antérieur consistent à mesurer des signaux en un point de mesure d'un objet en combinant balayage et calcul de la moyenne sur la base du contraste de potentiel, le point de mesure étant soumis à une brève impulsion d'électrons primaires, déclenchée par une impulsion de déclenchement synchrone avec le signal à mesurer. On détermine la valeur moyenne du courant d'électrons primaires produit à partir d'une multitude d'électrons primaires, qui sert de mesure pour le signal au point de mesure au moment de l'arrivée des électrons primaires. On génère les impulsions d'électrons primaires avec un système de modulation de faisceau. Comme les impulsions d'électrons primaires sont générées sur la base des impulsions de déclenchement, ce système requiert une grande largeur de bande. Or dans le procédé selon la présente invention, ou dans le dispositif qui sert à le réaliser, on soumet l'objet à des impulsiosn d'électrons primaires au point de mesure indépendamment des variations du signal et on enregistre le faisceau d'électrons secondaires qui en résulte. On ne tient cependant compte, pour l'analyse, que des impulsions d'électrons secondaires générées par des impulsions d'électrons primaires qui se produisent à un certain intervalle chronologique de l'impulsion de déclenchement. Pour obtenir une courbe complète de mesure, on varie cet intervalle chronologique. L'avantage du procédé selon la présente invention est que les impulsions d'électrons primaires sont générées à une fréquence constante. On peut donc les générer à l'aide d'un système de modulation de faisceau particulièrement simple et efficace, par exemple un système fondé sur les effets de résonance. |
