发明名称 SEMICONDUCTOR INTEGRATED CIRCUIT DEVICE AND MANUFACTURE THEREOF
摘要
申请公布号 JPH03138943(A) 申请公布日期 1991.06.13
申请号 JP19890275842 申请日期 1989.10.25
申请人 HITACHI LTD;HITACHI VLSI ENG CORP 发明人 AKASAKI HIROSHI;OTSUKA KANJI
分类号 H01L21/60;H01L21/321 主分类号 H01L21/60
代理机构 代理人
主权项
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