发明名称 SEMICONDUCTOR WAFER CARRIER DESIGN
摘要
申请公布号 EP0374740(A3) 申请公布日期 1991.06.12
申请号 EP19890123168 申请日期 1989.12.14
申请人 TEXAS INSTRUMENTS INCORPORATED 发明人 ISHII, KAORU;WILKINSON, THOMAS F.
分类号 H01L21/677;H01L21/673;(IPC1-7):H01L21/00 主分类号 H01L21/677
代理机构 代理人
主权项
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