发明名称 MOS CAPACITOR AND METHOD OF MANUFACTURING THE SAME
摘要
申请公布号 EP0197762(B1) 申请公布日期 1991.06.12
申请号 EP19860302450 申请日期 1986.04.02
申请人 MATSUSHITA ELECTRONICS CORPORATION 发明人 UEDA, SEIJI
分类号 H01L27/108;H01L27/10;H01L21/762;H01L21/763;H01L21/822;H01L21/8242;H01L27/04;H01L29/94 主分类号 H01L27/108
代理机构 代理人
主权项
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