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发明名称 FORMATION OF GATE ELECTRODE OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH03136277(A) 申请公布日期 1991.06.11
申请号 JP19890274675 申请日期 1989.10.20
申请人 SANYO ELECTRIC CO LTD 发明人 TABUCHI KAZUO
分类号 H01L29/78;H01L21/283;H01L29/423;H01L29/43;H01L29/49 主分类号 H01L29/78
代理机构 代理人
主权项
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