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发明名称 METHOD OF ENHANCING ADHESION OF THIN METALLIC FILMS TO SUBSTRATES
摘要
申请公布号 SU1019965(A1) 申请公布日期 1991.05.30
申请号 SU19813249525 申请日期 1981.02.25
申请人 INST RADIOTEKH ELEKTRON 发明人 ORMONT A.B.,SU;KUKHTA N.P.,SU
分类号 H01L21/263;H01L21/26 主分类号 H01L21/263
代理机构 代理人
主权项
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