发明名称 PARALLEL FLAT PLATE TYPE PLASMA CVD EQUIPMENT
摘要
申请公布号 JPH03127822(A) 申请公布日期 1991.05.30
申请号 JP19890266542 申请日期 1989.10.13
申请人 FUJI ELECTRIC CO LTD 发明人 NOJI TAKAHIRO;KIYOFUJI SHINJI
分类号 H01L21/205;H01L21/31 主分类号 H01L21/205
代理机构 代理人
主权项
地址
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