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发明名称 VERFAHREN ZUR SELEKTIVEN ENTFERNUNG VON ELEKTRONEN- BZW. IONENBESTRAHLTEN ERDALKALIFLUORIDSCHICHTGEBIETEN
摘要
申请公布号 DD290507(A5) 申请公布日期 1991.05.29
申请号 DD19890335992 申请日期 1989.12.21
申请人 VEB FORSCHUNGSZENTRUM MIKROELEKTRONIK DRESDEN,DE 发明人 SCHRECKENBACH,BERND,DE;ERBEN,JENS,DE;THOMAS,ANDREAS,DE;FRITZSCH,UWE,DE
分类号 H01L21/302;(IPC1-7):H01L21/302 主分类号 H01L21/302
代理机构 代理人
主权项
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