| 发明名称 |
METHOD AND STATION FOR PROCESSING SAMPLE |
| 摘要 |
|
| 申请公布号 |
JPH03119742(A) |
申请公布日期 |
1991.05.22 |
| 申请号 |
JP19900239165 |
申请日期 |
1990.09.11 |
| 申请人 |
KENJINTON LAB INC |
发明人 |
POORU ESU FUIRIPUSUKI;POORU II BATSUKII |
| 分类号 |
G01R31/26;H01L21/00;H01L21/66;H01L21/677 |
主分类号 |
G01R31/26 |
| 代理机构 |
|
代理人 |
|
| 主权项 |
|
| 地址 |
|
