| 发明名称 |
PRODUCTION OF OXIDE THIN FILM SUBSTRATE AND OXIDE THIN FILM |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH03120364(A) |
申请公布日期 |
1991.05.22 |
| 申请号 |
JP19890254941 |
申请日期 |
1989.09.29 |
| 申请人 |
TOSHIBA CORP |
发明人 |
NAKANISHI TAKATOSHI;EGUCHI KAZUHIRO;SATO TOSHIE |
| 分类号 |
C01B13/14;C01G1/00;C23C16/30;C23C16/40;H01B12/06;H01B13/00;H01L21/205;H01L21/84;H01L39/24 |
主分类号 |
C01B13/14 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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