发明名称 METHOD OF PROCESSING USING HIGH-ENERGY BEAM
摘要
申请公布号 JPH03116748(A) 申请公布日期 1991.05.17
申请号 JP19890253409 申请日期 1989.09.28
申请人 SONY CORP 发明人 MORITA YASUSHI
分类号 G01R31/26;H01L21/66 主分类号 G01R31/26
代理机构 代理人
主权项
地址