发明名称 METHOD OF FORMING BURIED CONTACT
摘要
申请公布号 JPH03116722(A) 申请公布日期 1991.05.17
申请号 JP19890253672 申请日期 1989.09.28
申请人 SONY CORP 发明人 TAKAHASHI KANJI
分类号 H01L21/3205;H01L21/28 主分类号 H01L21/3205
代理机构 代理人
主权项
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