SEMICONDUCTOR INTEGRATED CIRCUIT DEVICE AND MANUFACTURE THEREOF,申请号JP19890251902-传众专利搜索

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发明名称	SEMICONDUCTOR INTEGRATED CIRCUIT DEVICE AND MANUFACTURE THEREOF
摘要
申请公布号	JPH03116838(A)	申请公布日期	1991.05.17
申请号	JP19890251902	申请日期	1989.09.29
申请人	HITACHI LTD	发明人	YOSHIDA IKUO
分类号	H01L21/60;H01L21/321	主分类号	H01L21/60
代理机构		代理人
主权项
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