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发明名称 RESIST PEEL-OFF METHOD
摘要
申请公布号 JPH03116725(A) 申请公布日期 1991.05.17
申请号 JP19890251857 申请日期 1989.09.29
申请人 OKI ELECTRIC IND CO LTD 发明人 JINBO HIDEYUKI;TO YOICHI;KAWAZU YOSHIYUKI;KAWAZU TAKAHARU
分类号 H01L21/302;H01L21/027;H01L21/3065 主分类号 H01L21/302
代理机构 代理人
主权项
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