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发明名称 ION ASSISTED SPUTTERING METHOD AND ITS DEVICE
摘要
申请公布号 JPH03111561(A) 申请公布日期 1991.05.13
申请号 JP19890246513 申请日期 1989.09.25
申请人 UBE IND LTD 发明人 YAMAMOTO KIMISUMI
分类号 C23C14/34;C23C14/35;C23C14/56;H01L21/203 主分类号 C23C14/34
代理机构 代理人
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