发明名称 FILM CARRIER AND MOLDING USING IT
摘要
申请公布号 JPH03108746(A) 申请公布日期 1991.05.08
申请号 JP19890134126 申请日期 1989.05.25
申请人 TOOWA KK 发明人 OSADA MICHIO;SHIMIZU TOMOHITO;HIGASHIURA TATSUKI
分类号 H01L21/56;H01L21/60;H01L23/28 主分类号 H01L21/56
代理机构 代理人
主权项
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