制造硅单晶设备

摘要

在一种连续装入原料类型的硅单晶制造设备中，设有一个隔件将石英坩埚内的熔体分成单晶生长区和材料熔化区，还有一个将该材料熔化区上方遮盖起来的金属持热板。该金属持热板用来防止隔件内侧上硅熔体凝固，并防止硅单晶过冷。金属持热板厚度为3mm或更薄，而其材料为钽或钼。再者，该持热板包括具有多个开孔的直体部位，用来调节单晶温度。

主权项

1、一种硅单晶制造设备，包括：一种转动型的，盛有硅熔体的石英坩埚； 一个用于在所述石英坩埚侧面将其加热的电阻加热器； 一个用于在所述石英坩埚内的所述硅熔体分成单晶生长区和材料熔化区的石英隔件，在所述隔件上有至少一个开孔用于使硅熔体通过； 用于向所述材料熔化区连续馈入原料硅的原料给料装置，及： 厚度为3mm或更小，并用来遮盖在所述的隔件及所述隔件外侧的材料熔化区上方的金属持热板。