发明名称 INSTRUMENT FOR MEASURING DEPOSIT OF CHEMICAL VAPOR DEPOSITION DEVICE
摘要
申请公布号 JPH03107754(A) 申请公布日期 1991.05.08
申请号 JP19890244662 申请日期 1989.09.20
申请人 KOKUSAI ELECTRIC CO LTD 发明人 ENDO YOSHIHIDE
分类号 G01N27/00;G01N27/24;H01L21/205 主分类号 G01N27/00
代理机构 代理人
主权项
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