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发明名称 APPARAT MIT VAKUUM-ZU-VAKUUM-ZUGANGSEINRICHTUNG.
摘要
申请公布号 DE3582353(D1) 申请公布日期 1991.05.08
申请号 DE19853582353 申请日期 1985.02.28
申请人 INTERNATIONAL BUSINESS MACHINES CORP., ARMONK, N.Y., US 发明人 CARTER, DONALD L., VESTAL NEW YORK 13850, US
分类号 B65G51/02;F16J15/40;H01J37/18;H01L21/67;H01L21/677;(IPC1-7):H05K13/00;H01L21/00;H05K13/02 主分类号 B65G51/02
代理机构 代理人
主权项
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