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发明名称 SEMICONDUCTOR MANUFACTURING EQUIPMENT
摘要
申请公布号 JPH03108321(A) 申请公布日期 1991.05.08
申请号 JP19890245857 申请日期 1989.09.21
申请人 SONY CORP 发明人 KOMATSU YUJI
分类号 C23C16/46;C23C16/511;C23C16/515;C23C16/52;H01L21/205;H01L21/31;H01L21/324;H01L21/66 主分类号 C23C16/46
代理机构 代理人
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