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发明名称 METHOD OF PRODUCING AN IMAGE REVERSAL NEGATIVE PHOTORESIST HAVING A PHOTO-LABILE BLOCKED IMIDE
摘要
申请公布号 EP0361906(A3) 申请公布日期 1991.05.02
申请号 EP19890309859 申请日期 1989.09.28
申请人 HOECHST CELANESE CORPORATION 发明人 MAMMATO, DONALD C.;JAIN, SANGYA;DURHAM, DANA;SPAK, MARK A.;USIFER, DOUGLAS;MCFARLAND, MICHAEL
分类号 G03F7/022;G03F7/038;G03F7/039;H01L21/027;(IPC1-7):G03F7/004 主分类号 G03F7/022
代理机构 代理人
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