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发明名称 Method and apparatus for fine movement of specimen stage of electron microscope
摘要
申请公布号 US5012092(A) 申请公布日期 1991.04.30
申请号 US19890456522 申请日期 1989.12.26
申请人 HITACHI, LTD. 发明人 KOBAYASHI, HIROYUKI;IZAWA, SHIGERU;UKIANA, MOTOHIDE
分类号 G02B21/26;G05B19/23;H01J37/20 主分类号 G02B21/26
代理机构 代理人
主权项
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