发明名称 TARGET FOR LASER BEAM PVD APPARATUS
摘要
申请公布号 JPH0397850(A) 申请公布日期 1991.04.23
申请号 JP19890233099 申请日期 1989.09.09
申请人 NKK CORP 发明人 ONO MORIAKI;NAKADA KIYOKAZU;KOSUGE SHIGECHIKA
分类号 C23C14/24;C23C14/28 主分类号 C23C14/24
代理机构 代理人
主权项
地址