发明名称 ANALYZER USING ELECTRON BEAM
摘要
申请公布号 JPH0395842(A) 申请公布日期 1991.04.22
申请号 JP19890233639 申请日期 1989.09.07
申请人 SHIMADZU CORP 发明人 OSANAI KATSUTOYO
分类号 H01J37/06;H01J37/248;H01J37/252 主分类号 H01J37/06
代理机构 代理人
主权项
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