MICROMECHANICAL SWITCH

摘要

Pour fabriquer un commutateur micromécanique, on forme sur un substrat (1) une première couche sacrificielle (3). Une deuxième couche (4) est ensuite formée en îlot sur la première (3). Une couche d'élément de commutation (7) de matériau élastique est formée sur la deuxième couche (4) et on trace sur cette couche (7) le profil (5) d'un élément de commutation (8). On esquisse (12) ensuite une fenêtre dans laquelle on grave la deuxième couche sacrificielle à l'aide d'un agent d'attaque qui sous-ronge latéralement la partie de la couche de l'élément de commutation (7) qui constituera l'élément de commutation (8). On grave ensuite par la fenêtre délimitée par la deuxième couche déjà décapée la première couche sacrificielle afin de creuser une cavité (13) au-dessous de ladite partie, et donc de délimiter l'élément de commutation.