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发明名称
SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号
JPH0391939(A)
申请公布日期
1991.04.17
申请号
JP19890228207
申请日期
1989.09.05
申请人
SEIKO EPSON CORP
发明人
NOZAWA KAZUHIKO;ITO KOICHI
分类号
H01L21/60
主分类号
H01L21/60
代理机构
代理人
主权项
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