| 发明名称 |
METHOD AND DEVICE FOR PULLING UP SILICON SINGLE CRYSTAL |
| 摘要 |
|
| 申请公布号 |
JPH0388794(A) |
申请公布日期 |
1991.04.15 |
| 申请号 |
JP19890225913 |
申请日期 |
1989.08.31 |
| 申请人 |
NIPPON STEEL CORP;NITTETSU DENSHI KK |
发明人 |
MEGURO SEIZO;HARADA HIROBUMI;HABU RYUICHI |
| 分类号 |
C30B15/14;C30B15/00;C30B29/06;H01L21/208 |
主分类号 |
C30B15/14 |
| 代理机构 |
|
代理人 |
|
| 主权项 |
|
| 地址 |
|
