摘要 |
Bei einer derartigen Positionsmeßeinrichtung zum Messen der Relativlage zweier Objekte weist ein mit dem einen Objekt verbundener Teilungsträger (M1) eine inkrementale Teilung (T1) und mehrere der Teilung (T1) fest zugeordnete identische Referenzmarken (R1a, R1b, R1c) auf. Die Streifen der Referenzmarken (R1a, R1b, R1c) werden durch die Streifen der inkrementalen Teilung (T1) gebildet. Zu ihrer Unterscheidung besitzen die Streifen der Referenzmarken (R1a, R1b, R1c) ein querpolarisierendes Strichmuster und die nicht für die Referenzmarken (R1a, R1b, R1c) benutzten Streifen der inkrementalen Teilung (T1) ein längspolarisierendes Strichmuster. Die Abtastteilungen (AT1a, AT1b) einer Abtastplatte (AP1) tasten zur Erzeugung von Meßwerten sowohl die querpolarisierenden Streifen der Referenzmarken (R1a, R1b, R1c) als auch die längspolarisierenden Streifen der inkrementalen Teilung (T1) ab. Die Referenzmarkenabtastteilung (RAT1) der Abtastplatte (AP1), deren querpolarisierenden Streifen mit den querpolarisierenden Streifen der Referenzmarken (R1a, R1b, R1c) identisch sind, erzeugen nur bei der Abtastung der Referenzmarken (R1a, R1b, R1c) ein Referenzsignal (RS1).
|