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发明名称
EXPOSURE METHOD
摘要
申请公布号
JPH0383322(A)
申请公布日期
1991.04.09
申请号
JP19890221135
申请日期
1989.08.28
申请人
TOKYO ELECTRON LTD;TOKYO EREKUTORON KYUSHU KK
发明人
MURAKAMI MASAAKI;SAKAI HIROYUKI
分类号
G03F7/20;H01L21/027
主分类号
G03F7/20
代理机构
代理人
主权项
地址
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