发明名称 ANORDNUNG VOM METALL-OXID-HALBLEITERTYP UND VERFAHREN ZU DESSEN HERSTELLUNG.
摘要
申请公布号 DE3484181(D1) 申请公布日期 1991.04.04
申请号 DE19843484181 申请日期 1984.11.30
申请人 FUJITSU LTD., KAWASAKI, KANAGAWA, JP 发明人 SHIRATO, TAKEHIDE, KANAGAWA 254, JP;YOSHIDA, TOSHIHIKO, YOKOHAMA-SHI KANAGAWA 227, JP
分类号 H01L21/8234;H01L21/74;H01L27/088;H01L29/08;H01L29/10;H01L29/41;H01L29/417;H01L29/78;(IPC1-7):H01L21/74;H01L29/52 主分类号 H01L21/8234
代理机构 代理人
主权项
地址