发明名称 MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH0376226(A) 申请公布日期 1991.04.02
申请号 JP19890213488 申请日期 1989.08.18
申请人 FUJITSU LTD 发明人 KAMEI KIYOMASA
分类号 H01L21/3205;H01L21/027;H01L21/30;H01L21/768;H01L23/522 主分类号 H01L21/3205
代理机构 代理人
主权项
地址