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发明名称 INDUCTION PLASMA GENERATION DEVICE
摘要
申请公布号 JPH0367498(A) 申请公布日期 1991.03.22
申请号 JP19890204498 申请日期 1989.08.07
申请人 JEOL LTD 发明人 YOSHIDA TOYONOBU;TERAJIMA KAZUO;KOMAKI HISASHI
分类号 H05H1/30 主分类号 H05H1/30
代理机构 代理人
主权项
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