| 发明名称 |
PREPARATION OF COATING LIQUID FOR FORMING SILICA FILM |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH0354279(A) |
申请公布日期 |
1991.03.08 |
| 申请号 |
JP19890189046 |
申请日期 |
1989.07.21 |
| 申请人 |
CATALYSTS & CHEM IND CO LTD |
发明人 |
KOMATSU MICHIO;NAKAJIMA AKIRA |
| 分类号 |
C08G77/02;C09D183/00;C09D183/02;H01L21/312 |
主分类号 |
C08G77/02 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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